電漿的產生主要是藉由物質碰撞機制所產生的,在氣體中加入外加電壓與電場,使電子在其中獲得動能而加速,當加速電子撞擊氣體物種(分子或原子),會使彼此能量相互傳遞,當能量累積到一定程度時,使氣體產生電子躍遷,產生出一個新的離子及一個新的電子,並不斷重複造成而有連鎖反應,電子會以等比級數的方式產生全面式解離。藉由等比級數的增加會產生更多的電子,其電子動能的累積主要受到外加電場大小及粒子間相互碰撞之頻率所影響。電子在碰撞氣體分子或原子時,透過非彈性碰撞將能量傳遞給束縛電子,使原子內部電子造成躍遷,形成連鎖反應。
電漿的反應相當的複雜,主要是因為電漿中的粒子種類繁多,其中包含電子、離子、分子、原子、自由基及中性物種等,包含了物理反應及化學反應,基本反應包含了以下七大項:離子化(Ionization)、再結合(Recombination)、附著反應(Attachment)、激發反應(Excitation)、解離反應(Dissociation)、分子分解游離(Dissociative Ionization)和分子分解附著(Dissociative Attachment)。