電漿噴射束(Plasma Jet)由一圓管狀金屬外電極包覆介電材料,並在其中設計一主電漿工作氣體導流裝置,再將中央金屬電極置於管中央;兩電極的內端接於常壓電漿電源供應器(可使用DC 或RF 頻率)、外端則與電漿電源供應器共接地,利用放電內電極之尖端放電的同時,藉由高流速之常壓電漿工作主氣體,流經其導流裝置,在圓管內將電弧由前端噴嘴(Nozzle)噴出以產生穩定且因限縮空間而具高電漿濃度之常壓電漿。其特色為電漿束與材料之接觸面積小,所以可以做局部處理、而能量較集中,可以提高電漿處理之效率,產生的臭氧濃度相對較低,應用效果是常壓電漿中最佳的,常壓電漿噴射束可以搭配移動平台設計,將原本單點式的常壓電漿束可以處理大面積之製程。其應用技術很廣泛,包含:材料表面改質、多功能性鍍膜應用、生醫材料包裝殺菌、精密製程組裝貼合、半導體及光電製程中使用之光阻灰化、蝕刻製程、材料異質貼合前處理和Roll To Roll 軟板製程清潔等。